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製品情報 Frontics 製品

Frontics 製品

フロンティクスの計装化押込み試験機は、産業現場とラボで材料の引張特性、残留応力、破壊靭性及び硬度を非破壊方式で測定できる高性能機器です。
測定範囲と目的によってマクロ、マイクロ、ナノに区分されて、AISシリーズとStress Mapperシリーズに分けられ、様々な測定 ニーズに最適なソリューションを提供します。

Nano Stress Mapper
Nano Stress Mapper
Nano Stress Mapper
Nano Stress Mapper

半導体または小型電子部品の試験に容易
薄膜フィルムの応力分布を測定

特徴
  • - 半導体、小型電子部品、薄膜の応力分布及び界面の接着力を測定
  • - 顕微鏡(最大:2000倍)の使用で測定位置の確認が可能
  • - 自動試験(Mapping)機能を搭載
  • - ピエゾシステムを利用したナノ領域の荷重-変位曲線を取得
製品仕様
サイズ
548x680x360 mm
分解能
10 nN / 0.04 nm
機器の重量
100 kg
最大移送距離
10 μm
最大認可荷重
200 mN
荷重認可速度
1 ~ 12,000 nm/sec